曝中芯國際測試首款國產DUV光刻機!可生產5nm

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9月17日消息,據報道,中芯國際正在測試由上海初創公司宇量昇生產的深紫外線(DUV)光刻機,正測試的光刻機採用浸沒式技術,類似於ASML所採用的技術。

過去,中芯國際高度依賴從荷蘭半導體設備大廠ASML進口的DUV,但是近年來由於美國的出口管制,只能獲得較舊設備。

知情人士透露,中芯國際正在測試一台28納米的DUV設備,並利用多重曝光來生產7納米晶片。

據透露,中芯國際試用的這類設備也能被推向極限以生產5納米處理器,但良率會偏低,無法再進一步製造更先進的產品。

報道稱,如果能夠量產先進的DUV光刻機,這將是中國大陸突破美國晶片出口管制的重大勝利,不僅能減少對西方技術的依賴,還能提升先進AI處理器的產能。

還有分析師表示:「如果測試成功,這將是中國企業的重要一步,未來可在此基礎上推進更先進的設備。」


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